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    以鋁矽/金矽合金與石墨之共蒸鍍來製備碳化矽之研究
    • 化學工程系 /106/ 碩士
    • 研究生: 謝孟廷 指導教授: 洪儒生
    • 本論文針對碳化矽的低溫製備,考慮利用矽化物合金的低融點特性,期望在較低的溫度下使其與活性碳物種反應來生成碳化矽鍵結。 本研究將採用電子束與熱蒸鍍法共蒸鍍石墨與金矽/鋁矽合金,分別於合金共晶溫度(36…
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